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NachrichtenLexikonProtokolleBücherForenMontag, 23. September 2019 

Niederdruckplasma


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Ein Niederdruckplasma ist eine spezielle Form eines Plasmas bei welchem der Gasdruck signifikant niedriger als Atmosphärendruck.

Typische technische Niederdruckplasmen werden im Druckbereich Pascal betrieben als bei Drücken die um Faktor 10000 geringer sind als der normale

Inhaltsverzeichnis
1 Literatur
2 siehe auch

Natürliches Vorkommen


Niederdruckplasmen kommen im Weltall in leuchtenden vor.

Technische Anwendungen

Niederdruckplasmen sind unverzichtbare Schritte bei der mikroelektronischer Bauelemente ( Plasmaätzen ).

Ferner werden Niederdruckplasmen zu einer Vielzahl Beschichtungsaufgaben eingesetzt:

Charakteristische Eigenschaften

Bei Niederdruckplasmen ist infolge des niedrigen die typische mittlere freie Weglänge so gross dass Stossprozesse "selten" sind. sind die unterschiedlichen Teilchensorten (Schwerteilchen Elektronen ) nicht im thermischen Gleichgewicht d.h. besitzen Temperaturen.

Bei Technischen Niederdruckplasmen werden über selektive der Elektronen Elektronentepmeraturen von einigen Elektronenvolt (mehreren 10000 K) erreicht während die des Neutralgases wenig über Zimmerteperatur liegt. Daudrch auch thermisch sensible Materialien wie Kunstoffe mittels bearbeitet werden.

Literatur

G. Franz Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen. Beschichten und Strukturieren in Mikrotechnik Springer Verlag 1994
A. Grill Cold Plasma in Materials Fabrication. From Fundamentals Applications IEEE Press New York 1994

siehe auch

nichtthermisches Plasma



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