Sensorik und Aktorik | Diplom | Mikrosystemtechnik | Universität Freiburg

Sensorik und Aktorik | Mikrosystemtechnik

26.03.2000

Art der Hochschule:

Universität

Prüfungsort:

Freiburg

Studienfach:

Mikrosystemtechnik

Art der Prüfung:

Diplom

Prüfungsfach:

Sensorik und Aktorik

Dauer:

50-60 Minuten

Note:

2-;

Konntest du mit einem selbst gewählten Thema beginnen?

keine Angabe

Versucht der Prüfer bei Schwierigkeiten zu helfen?

keine Angabe

Prüfungsablauf / Tipps

*****:
Wie man bei den Fragen von Prof. ***** erkennen
kann, fragt er Dinge die er noch aus seiner
Studienzeit kennt (Herleitung NA) die aber nicht
in seinem Buch stehen. Und wenn man aus seinem
Buch zitiert, kann es sein, dass er dies wiederlegt
(HG-Lampe, e-Strahlschreiber und Ablenksystem).
Er legt auch Wert auf Kleinigkeiten wie
Konstanten und Werte, z.B: Was steht im
Periodensystem nach Lithium?
Zusammenfassend: Prof. ***** ist ein Prüfer der
„Alten Schule“, der nicht unterschätzt werden darf.
Er will genau das wissen, was er zu diesem Thema
im Kopf hat. Sein Buch als einzige Quelle zu
verwenden ist ein großer Fehler.
Mein Tipp: Vorlesungsmitschrift mit anderen MST
Büchern aufarbeiten.
*****:
***** vermittelt eine sehr angenehme
Prüfungsatmosphäre. Er fragt recht allgemein, so
dass man immer was zum Thema sagen kann.
Wenn man ein Thema entwickelt, knüpft er dort an
und stellt weitere Fragen. Es macht bei ihm nie den
Anschein, er wolle einen aushorchen, sondern
mehr nach dem Motto: Hier haste ein Thema, lass
uns mal darüber diskutieren. Trotzdem sollte man
dabei Wert aufs Detail legen. Mein Tipp: Zu jedem
Thema ein Verfahren sehr genau lernen
(Herleitung) aber wissen, dass es noch Andere
gibt. (Funktionsweise)
Meine Note ist gerechtfertig, da ich im Teil von
Prof. ***** schlecht war. Bei Prof. ***** konnte
ich Einiges wieder wett machen.

Prüfungsfragen

MST (*****):
Was versteht man unter Lithografie?
Optisches Abbilden von Information
(Strukturen) über ein Maske auf Fotolack.
Optische- und Röntgenlithografie

Was beschränkt die Dimension und gibt es
Näherungen?
2 Näherungsformeln aus dem Buch

Welche Wellenlängen gibt es?
Röntgen: 0,2 .. 2 nm

Was ist das Liga-Verfahren? Nennen sie
Schritte?
Die Schritte von Röntgenlitho., Galvanik und
Abformen aufgezeichnet
Wie sieht eine Röntgenmaske aus
Titan- bzw. Berilliumfolie, Goldabsorber
(Atomgewicht)
Phasenschiebermaske:
Bild wie im Buch.
Wie werden Masken hergestellt ?
Standard: Sputtern, Fotolack, Belichten mit e-
Strahlschreiber, Ätzen.

Was ist die Numerische Appertur und wie
kann man sie beschreiben ?
Die NA beschreibt geometrische Dimensionen
optischer Systeme.
Hier wollte ***** ein genaue Herleitung von
NA mit Linsen, Winkeln und Brennweiten

Sensorik/Aktorik (*****):
Mikrofluidik? Was für Mengen fließen?
Nanoliter, Pikoliter
Wie kann ich kleine Strömungen messen?
(bzgl. MST)?
Heissdrahtanemometer, Heissfilmanemometer
Dünnschichtanemometer
Hier folgte dann eine Herleitung über die
Wärmeableitung mit Nusseltzahl und
Strömungsgeschwindikeit ....

Zeichnen sie den Verlauf von U(v)
Siehe Skript S. 205 Bild 272
Andere Verfahren in der MST?
Blenden und Staurohre, Coriolisverfahrenr
Den Druck- und Geschwindigkeitsverlauf an
der Blende skizziert.

Wie messe ich Druck in der MST?
Über Membransensoren
Obige skizziert, mit Spannungsverlauf über
die Membran
Unterschied zwischen Topf- und
Ringmembran erläutert.

Wie wird die Dehnung, Stauchung der
Membran detektiert?
Piezoresistiv, Piezoelektrisch, mit DMS
Was eignet sich besser HL oder Metall
Metall: genauer, linearer
HL: billiger, Prozesskompatibel
Was ist bei HL schlecht
Temperaturabhängigkeit

Studienfächer