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Vakuumpumpe


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Vakuumpumpen dienen dem Zweck auf der Erde ein Vakuum zu erzeugen. Dabei unterscheidet man die nach dem von ihnen erzeugten Vakuum und ihrer Technik.

Inhaltsverzeichnis

Grundprinzip

Alle Pumpentypen bedienen sich eines Grundprinzipes nämlich die Teilchen die auf die Pumpe aus dem Rezipienten entfernt werden. Die Teilchen nicht abgesaugt. Demzufolge ergibt sich die Pumpleistung durch den Öffnungsdurchmesser der Pumpe und dem

Die Atome im Rezipienten sind nach gewissen Zeit homogen und isotrop verteilt. Daraus läßt sich für jede Fläche auf der Wand des Rezipienten ein berechnen. Die Pumpen müssen jetzt nur noch sorgen daß für eine bestimmte Fläche mehr herausgeführt werden als wieder hineinströmen.

Verdrängerpumpe

Bei Verdrängerpumpen wird das im Rezipienten enthaltene Gas durch Kolben Rotoren oder Schieber mechanisch eventuell verdichtet und dann ausgestoßen. Dabei sind mechanischen Elemente innerhalb der Pumpen gegeneinander durch Flüssigkeit meist Öl abgedichtet. Diese Technik wird allen Dingen mit Drehschieber- und Drehkolbenpumpen umgesetzt werden meist zur Erzeugung von Grob- und eingesetzt.

Treibmittelpumpe

Bei den Treibmittelpumpen wird Dampf oder Flüssigkeit mit hoher Geschwindigkeit ausgestoßen. Gerät ein in diesen Teilchenstrom so wird die Impulsrichtung des Treibmittelstroms auf das Teilchen übertragen dadurch in einen Raum höheren Drucks transportiert Damit das Treibmittel selbst nicht in den Rezipienten gelangt wird es an den gekühlten der Pumpe kondensiert. Dieser Aufbau wird meist Ölstrahlpumpen realisiert bei denen das Öl entweder oder dampfförmig (Öldiffusionspumpe) ist sie erzeugen Fein- und Ultrahochvakuum.

Molekularpumpe

Bei Molekularpumpen bedient man sich einer welche mit zunehmenden Verdichtungsstufen die Gasteilchen aus Rezipienten entfernt. Dabei werden sehr leistungsfähige Turbinen die 40.000 bis hin zu 350.000 Umdrehungen Minute haben. Sie dienen zum Erzeugen von

Die Pumpwirkung beruht darauf daß den und Teilchen ein zusätzlicher Impuls hinaus zugeführt Von der Atomsorte hängt es ab ob zusätzliche Impuls zum Verlassen des Rezipienten ausreicht. Atome haben z.B. bei Raumtemperatur eine sehr Geschwindigkeit so daß über die Pumpe nur kleiner zusätzlicher Impuls übertragen wird. Deswegen ist Pumpleistung für Wasserstoff bei allen Molekularpumpen deutlich als für normale Luftmoleküle.

Kryopumpe

An einer gekühlten Fläche (z.B. mit Helium oder Wasserstoff) kondensieren die meisten Gase daher wird diese Pumpe auch Kondensationspumpe genannt. Sie dient zum Erzeugen von

Sorptionspumpe

Durch Physisorption scheiden sich das Gas an frischen Oberflächen ab. Die Fläche mit dem Sorptionsmittel ständig erneuert werden. Als Sorptionsmittel werden Zeolithe verwendet.
Falls die Schicht durch Aufdampfen eines gebildet wird spricht man von Getterpumpen . Bei der Ionengetterpumpe wird das Gas durch Elektronenstöße ionisiert und durch ein elektrisches Feld zum getrieben. Diese Pumpen erfordern ein gutes Vorvakuum dienen zur Erzeugung eines Ultrahochvakuums.




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