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NachrichtenLexikonProtokolleBücherForenMontag, 1. Juni 2020 

Mikrosystemtechnik für Ingenieure.


von Wolfgang Menz

Kategorie: Mikrosystemtechnik
ISBN: 3527294058

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Kurzbeschreibung Die völlig neubearbeitete Auflage des ersten umfassenden Lehrbuchs der Mikrosystemtechnik berücksichtigt die neuesten Trends dieses sich rasch entwickelnden Gebietes der Ingenieurwissenschaften. Insbesondere die Kapitel zur Silizium- und LIGA-Technik wurden stark erweitert. Neu hinzugekommen sind anwendungsbezogene Aspekte in der Medizintechnik, Galvanik und Lithographie. Das Buch spricht überwiegend fortgeschrittene Studenten der Ingenieurwissenschaften an, die einen fundierten Einstieg in dieses aktuelle Forschungsthema suchen. Auch gestandene Fachleute können sich hier einen guten Überblick über die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik verschaffen. Allgemeine Einführung in die Mikrostrukturtechnik/ Die Parallelen zur Mikroelektronik/ Die naturwissenschaftlichen Grundlagen der Mikrotechnik/ Basistechnologien der Mikrotechnik/ Lithographie/ Die Silizium-Mikromechanik/ Das LIGA-Verfahren/ Alternative Verfahren der Mikrostrukturierung/ Aufbau- und Verbindungstechniken (AVT)/ Systemtechnik/ Anwendungen/ Ausblick.


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