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Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik

26.01.2007 - (idw) VDE Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik e.V.

VDE/GMM organisiert Workshop in Karlsruhe

Zu einem Workshop "Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik" lädt die VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (GMM) am 07. und 08. Mai 2007 nach Karlsruhe ein. Experten aus Industrie und Wissenschaft bewerten neueste Entwicklungstrends in wichtigen Fertigungstechnologien und Materialsystemen unter dem Aspekt der Wirtschaftlichkeit. Die Mikrosystemtechnik hat sich in den letzten Jahrzehnten zu einer Schlüsseltechnologie entwickelt. Auf der Materialbasis Silizium haben sich inzwischen eine Vielzahl leistungsfähiger Technologien wie Oberflächen-Mikromechanik oder Waferbondverfahren entwickelt. Neben der Siliziumtechnik sind Materialsysteme wie Metalle, Keramiken, Gläser und Kunststoffe mit ihren Fertigungsverfahren in den Vordergrund getreten. Dazu zählen die Dünnschichttechnik sowie die Kombination aus Tiefenlithographie, galvanischer Abformung und Replikation (kurz LIGA). Die daraus entstandenen Mikrourformverfahren erlauben die Fertigung großer Stückzahlen. Fortschritte in den Spritzgieß- und Heißprägeverfahren, die Weiterentwicklung klassischer Formgebungsverfahren wie Hochgeschwindigkeitsfräsen und Erodieverfahren haben die Miniaturisierung vorangetrieben. Auf der Materialseite wird die Nanotechnologie zur Verbesserung der Eigenschaften von Mikrosystemen beitragen.

Call for Papers
Der Workshop bietet Wissenschaftlern, Forschern und Ingenieuren die Möglichkeit, interessante Beiträge zu aktuellen und zukünftigen Entwicklungen aus der Mikro- und Nanosystemtechnik zu präsentieren. Zu folgenden Themengebieten können Aufsätze eingereicht werden:

o Silizium-Technologie
o Abformtechniken für Metalle
o Mikroformgebungsverfahren
o Ultrapräzisionstechnik
o Neue Materialien und neue Herstellungsverfahren, z. B. nanostrukturierte Materialien, MID, Werkstoffe und Herstellungsverfahren für die Energiespeicherung in Mikrosystemen
Weitere Informationen: http://www.vde.com/gmm - Nähere Informationen zur GMM, zur Tagung und zur Ausschreibung
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