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Mikrosensorik weiter im Aufschwung - Produktmarkt Mikrosystemtechnik auf der Sensor

12.05.1999 - (idw) IVAM - Fachverband für Mikrotechnik

Ihre innovativen Produkte aus dem Bereich der Mikrosystemtechnik stellen 11 Aussteller auf dem "Produktmarkt Mikrosystemtechnik" (Halle 1, Stand 1-256) im Rahmen der Sensor '99 vom 18. bis 20. Mai 1999 in Nürnberg aus.

Ihre innovativen Produkte aus dem Bereich der Mikrosystemtechnik stellen 11 Aussteller auf dem "Produktmarkt Mikrosystemtechnik" (Halle 1, Stand 1-256) im Rahmen der Sensor '99 vom 18. bis 20. Mai 1999 in Nürnberg aus. Dabei hat sich die Ausstellerzahl von der ersten Teilnahme 1997 (5 Aussteller) verdoppelt. Die Standfläche beträgt nunmehr 120 qm.

Die Aussteller:
3T BV
AVT-Zentrum Dortmund
D.T.S. GmbH
Dolphin Integration GmbH
Europractice
FRT GmbH
IMM GmbH
Kugler GmbH
LIMO GmbH
microTEC GmbH
Twente MicroProducts

Die Exponate:
Dolphin Integration GmbH zeigt auf dem Gemeinschaftsstand ihre Softwarepakete SMASH, ein echtes mixed-signal, multi-level Simulationsprogramm, MEXEL, ein Programm zur Übersetzung von algebraischen und Differentialgleichungen in elektrische Modelle, um sie anschließend mit SMASH zu simulieren, sowie ein CAD-Paket zum Design von mikromechanischen Drucksensor-Systemen.

Die LIMO-Lissotschenko Mikrooptik GmbH stellt auf der SENSOR '99 ihr Programm an Mikrooptiken zur Optimierung der Effizienz und Miniaturisierung von optischen Sensoren aus. LIMO bietet kundenspezifische Lösungen wie auch Massenproduktion für zahlreiche Aufgaben wie Signalverstärkung, Verlängerung von Meßstrecken oder die Aufweitung des Meßbereiches.

Das Institut für Mikrotechnik Mainz (IMM) zeigt einen neuen Strömungssensor für Mehrphasenströmungen nach dem Prinzip des optischen Orts-Frequenz-Filters. In Zukunft soll der Strömungssensor für verschiedene Anwendungen in Bereichen der humanmedizinischen Forschung und Diagnostik angepaßt werden. Beispiele sind hier die Urologie, Messung von Strömungen der Hirnflüssigkeit, Blut- und Atemstrommessungen, sowie in der Anästhesie. Weitere Exponate des Instituts für Mikrotechnik Mainz sind ein Low-Cost-Spektrometer und SNOM-Spitzen (Scanning Nearfield Optical Microscopy) für die Oberflächenanalytik. Aus dem Bereich Biotechnologie wird ein 96-Kanal-Elektrophorese-Chip in der Größe einer Chipkarte vorgestellt, wobei 96 Proben direkt im Rastermaß der 384-Well-Mikrotiterplatten ohne Injektionskanäle aufgetragen werden können.

Ein neues, integriertes Sensor- und Datenlogsystem - entwickelt von 3T in Zusammenarbeit mit verschiedenen Partnern - umfaßt einen Sensor zur Trübungsmessung sowie verschiedene Sensoren - basierend auf Mikrosytemtechnik - zur Bestimmung von Leitfähigkeit, pH-Wert, Natrium- und Calcium-Konzentrationen. Das für ein spezielles Prozeßwasser optimierte System kann auch an andere Prozesse in wäßrigen Medien angepaßt werden. Die äußerst schwierigen Meßbedingungen im Prozeßwasser beeinträchtigen das langlebige System von der Größe eines Eishockey-Pucks nicht. Nach Ablauf der Messungen können die Daten mittels drahtloser Kommunikation eingelesen und in einem PC verarbeitet werden.

D.T.S. ist Hersteller von Dünnschicht-Thermogenerator-Systemen und stellt auf der Sensor Low-Power-Thermogeneratoren, ein autark betriebenes Temperaturdisplay, IR-Sensoren sowie eine Baugruppe zur berührungslosen Temperaturmessung aus.

Die FRT GmbH bietet Dienstleistungen und Produkte rund um die Oberflächenanalytik, wie z. B. Oberflächenanalyse mit unterschiedlichsten Verfahren, Rastersondenmikroskopie, Beratung Oberflächen, Neue Materialien, Neue Technologien, Fördermaßnahmen, Angewandte Grundlagenforschung, Studien und Consulting, Geräte zur Oberflächenanalyse, Technisch-wissenschaftliche Software, Auswerte- und Steuersoftware, In-line Kontrolle, Prozeßüberwachung.

Die neue Generation von Präzisionsdrehtischen der Firma Kugler zeichnet sich durch absolute Spielfreiheit aus. Durch die integrierten Labyrinthdichtungen können die luftgelagerten Einheiten auch in rauher Umgebung ohne Einfluß auf die Genauigkeit betrieben werden.
Der neue luftgelagerte 2-Achsen-Positioniertisch wurde für Anwendungen in der Meß-/Kalibrier- und Halbleitertechnik ausgelegt, bei denen es auf hohe Genauigkeit und kürzeste Positionierzeiten ankommt.

microTEC GmbH stellt micro-Greifer, micro-Sensoren, ein micro-U-Boot und diverse Mikrostrukturen aus den Bereichen Optik und Fluidics aus. Die Produkte wurden mittels Rapid Micro Product Development (RMPD) erzeugt, einem stereolithographischen Verfahren zur schnellen Herstellung von beliebig geformten 3D-Mikrostrukturen als Prototyp oder in Serie. Mit RMPD ist es während des generativen Wachsens von Bauteilen in Schichtendicken bis hinab zu einem Mikrometer möglich, andere Mikrobauteile einzubauen. Mikroelektronische, mikrooptische und -mechanische Komponenten, z. B. CCD-Chip und Mikrolinse lassen sich so zu komplexen Mikrosystemen auf einfachste Weise verbinden.

Europractice ist ein von der Europäischen Union gefördertes Projekt mit dem Ziel, die Wettbewerbsfähigkeit der europäischen Industrie zu verbessern. Europractice sorgt für einen besseren Zugang zu führenden elektronischen Technologien einschließlich Mikrosystemtechnik. Kleine und mittlere Unternehmen sowie F&E-Einrichtungen können die Dienstleistungen in Anspruch nehmen, z. B. Machbarkeitsstudien, Design, CAD-Software, Prototypenherstellung, Fertigung und Ausbildung. Die Technologien decken ASICs, Multi-Chip-Module (MCMs) und Mikrosystemtechnik (MST) ab.

Twente MicroProducts stellt den Prototypen eines bistabilen Mikroventils für Flüssigkeiten auf Siliziumbasis und einem miniaturisierten Aktor vor. Vorteile sind die Verbindung der Präzision der Siliziummikromechanik mit der Flexibilität einer chemisch resistenten Gummimembrane und der Kraft eines kleinen Aktors. Der gezeigte Gasfluß-Sensor arbeitet gemäß dem anemometrischen Prinzip: Die abgestrahlte Wärme eines Widerstandes beeinflußt den Temperatursensor, so daß der (bidirektionale) Fluß detektiert werden kann. Der thermische Leitfähigkeitsdetektor (thermal conductivity detector TCD) ist ein Sensor, der bei der Gaschromatografie genutzt wird. TCD ist ein universeller, konzentrationssensibler, nicht-zerstörender Detektor, d. h. im Gegensatz zu anderen - wie z. B. dem Flammenionisationsdetektor - wird das Gas durch die Detektion nicht beeinflußt. Daher ist TCD geeignet für die Prozeßüberwachung und -regelung.

Pressekontakt:

IVAM NRW e.V., Dr. Christine Neuy
Emil-Figge-Str. 76, D-44 227 Dortmund
Tel.: 0231 / 9742 168, Fax: 0231 / 9742 150
e-mail: cn@ivamnrw.com

Auf der Messe:
Dr. Helge Bohlmann - Andreas Blümke
"Produktmarkt Mikrosystemtechnik", Halle 1, Stand 1-256
Telefon: 01 71/7 12 66 81
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