Neuartige Drucksensormodule für chemische und pharmazeutische Industrie

05.08.2002 - (idw) CiS Institut für Mikrosensorik gGmbH

Kundenspezifische Si-Drucksensormodule und OEM-Baugruppen mit standardisierten Schnittstellen für Relativ- und Absolutdruckmessung im Bereiche von 10 mbar bis 16 bar werden gegenwärtig im CiS entwickelt und mit potentiellen Anwendern in Feldversuchen getestet.


Drucksensorchip Spezifische Schwerpunkte sind die Verwendung chemisch beständiger Substratmaterialien wie Al2O3-Keramik als Träger für das Drucksensorchip (siehe Abbildung) und die Entwicklung von Fügeverfahren unter Verwendung chemischer inerter, langzeitstabiler Fügehilfsstoffe. Damit werden neben dem Einsatz im Automotivbereich und der Haushalttechnik auch günstige Voraussetzungen für Anwendungen in der chemischen und pharmazeutischen Industrie geschaffen.

Das CiS verfügt über die Möglichkeiten zur Entwicklung des kundenspezifischen Designs der Primärsensoren mittels FEM. Zur kostengünstigen Fertigung im Bereich kleiner und mittlerer Stückzahlen stehen als technologische Plattform eine komplette 4"-Waferlinie für die Chipfertigung und die entsprechenden Prozessschritte der Aufbau- und Verbindungstechnik auf ca. 200 m² Reinraumfläche zur Verfügung. Moderne Messplätze und das Qualitätsmanagment nach ISO 9001 sichern gegenüber dem Kunden die Einhaltung der vereinbarten Parameter und Qualitätsnormen.